勻膠機什么情況下需要對抽氣室進(jìn)行清潔

　　顧名思義,勻膠機是把膠均勻地涂在基片上的一種機器。方法很多，有滾涂，浸涂，噴涂，旋涂等，各有優(yōu)缺點(diǎn)。不同的應用采取不同的涂膠方法。其中旋涂用得蕞多，那是因為它能取得蕞高的均勻性，是半導體微電子領(lǐng)域里光刻工藝的通用的方法。

　　勻膠機主要關(guān)鍵元器件由美國進(jìn)口，整機裝配在國內安裝調試完成。該機2002年已通過(guò)CE認證，其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現為：當該勻膠機在運轉時(shí)，它不影響同處一室的其他設備，以保證其他設備的正常使用（如指針不漂移等受干擾后有影響的反應）；同時(shí)它本身也不會(huì )受到其他同處一室的設備運轉而產(chǎn)生的磁場(chǎng)的干擾，從而保證實(shí)驗效果的穩定性和可靠性。

　　工作原理是高速旋轉基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上，勻膠機常用于各種溶膠凝膠（Sol-Gel）實(shí)驗中的薄膜制作，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同，也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)?？梢栽O定多達20個(gè)程序段來(lái)存儲不同材料的制備過(guò)程，每個(gè)程序段都能設定51步速度改變，當前參數具斷電保護功能。

　　勻膠機屬下列狀況之一時(shí)，需要對抽氣室進(jìn)行清潔：

　　1. 正常使用三個(gè)月的；

　　2. 膠被吸入抽氣室的；

　　3. 電機轉速不穩定或被卡住轉不動(dòng)的。

　　清潔的辦法是順次取下勻膠機片托，松開(kāi)光電盤(pán)上的緊固頂絲，取下光電盤(pán)、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧，用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗潔凈，再順次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤(pán)。旋緊緊固頂絲。